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技术文章
各种气体的纯度指标

气体种类

项目

指标

优等品

一等品

合格品

高纯氮

氮气纯度, 10-2(V/V)           

99.9996

99.9993

99.999

氧含量,10-6(V/V)              

1.0

2.0

3.0

氢含量,10-6(V/V)              

0.5

1.0

1.0

CO、CO2、CH4总含量,10-6(V/V)

1.0

2.0

3.0

高纯氩

氩纯度, 10-2(V/V)             

99.9996

99.9993

99.999

氮含量,10-6(V/V)              

2

4

5

氢含量,10-6(V/V)              

0.5

1

1

总碳含量(以甲烷计)10-6(V/V)

0.5

1

2

高纯氦

氦气纯度, 10-2(V/V)           

99.9996

99.9993

99.999

氢含量,10-6(V/V)             

0.1

0.5

1

氧(氩)含量10-6(V/V)       

0.5

1

1

氮含量,10-6(V/V)             

1

1

2

一氧化碳含量,10-6(V/V)       

0.1

0.2

0.5

二氧化碳含量,10-6(V/V)       

0.2

0.2

0.5

甲烷含量,10-6(V/V)           

0.1

0.2

0.5

高纯氢

氢纯度, 10-2(V/V)             

99.999

氧(氩)含量10-6(V/V)       

1

氮含量,10-6(V/V)             

5

一氧化碳含量,10-6(V/V)       

1

二氧化碳含量,10-6(V/V)       

1

甲烷含量,10-6(V/V)           

1

超纯氢

氢纯度, 10-2(V/V)              

99.9999

氧(氩)含量10-6(V/V)       

0.2

氮含量,10-6(V/V)              

0.4

一氧化碳含量,10-6(V/V)       

0.1

二氧化碳含量,10-6(V/V)       

0.1

甲烷含量,10-6(V/V)           

0.2

高纯氧

氧纯度, 10-2(V/V)              

99.999

99.998

99.995

氩含量,10-6(V/V)             

2

5

10

氮含量,10-6(V/V)             

5

10

20

二氧化碳含量,10-6(V/V)       

0.5

1

1

总碳含量(以甲烷计)10-6(V/V)

0.5

1

2

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